YbF3薄膜不溶于水且应力较低，适用于在高温基板上使用时的潮湿环境。在2.8-3.2μm和5.6-7.3μm处的吸水带深度较低；并且在接近200°C的衬底温度下进一步减少。YbF3可以与更高折射率的ZnS、ZnSe和Ge层以及其他氟化物化合物组合成多层膜。在可见光波长至~7μm范围内的涂层中具有良好的应用前景。典型应用在3至11μm波长范围内的AR、长波通、短波通和滤光膜；成为替代ThF4膜料的一种较好的候选膜料。